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ULVAC 愛(ài)發(fā)科 渦輪分子泵 日本供應(yīng)

ULVAC 愛(ài)發(fā)科 渦輪分子泵 日本供應(yīng)
渦輪分子泵,帶有使用磁懸浮軸承的獨(dú)立控制器。我們有抽速為300~4000 L/s 的型號(hào)陣容??刂破鲉卧梢员O(jiān)控運(yùn)行狀態(tài)并支持各種通信標(biāo)準(zhǔn)。

  • 產(chǎn)品型號(hào):UTM-MS
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 更新時(shí)間:2025-05-16
  • 訪  問(wèn)  量:654
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產(chǎn)品詳情
品牌ULVAC/日本愛(ài)發(fā)科價(jià)格區(qū)間2千-5千
產(chǎn)地類別進(jìn)口應(yīng)用領(lǐng)域化工,生物產(chǎn)業(yè),能源,建材/家具,綜合
供貨號(hào)137.1702.5688

ULVAC 愛(ài)發(fā)科 渦輪分子泵 日本供應(yīng)

ULVAC 愛(ài)發(fā)科 渦輪分子泵 日本供應(yīng)


特點(diǎn)

  • 泵體和控制器分開??刂破骺梢员O(jiān)控運(yùn)行狀態(tài)并支持各種通信標(biāo)準(zhǔn)。

  • 自由的安裝方向。自由的安裝方向使系統(tǒng)裝置的設(shè)計(jì)更靈活。

  • 排氣速度300L/s~4000L/s的型號(hào)陣容。

  • 分子泵轉(zhuǎn)速在25-100%范圍內(nèi)可變。通過(guò)改變轉(zhuǎn)速在腔室中實(shí)現(xiàn)壓力調(diào)節(jié)。

  • 高耐用性和安全性。通過(guò)了大氣沖擊試驗(yàn)、急停測(cè)試等各種安全性確認(rèn)試驗(yàn)。

用途

  • 各種設(shè)備的主真空排氣系統(tǒng)

    - 半導(dǎo)體制造設(shè)備
    - 蒸鍍?cè)O(shè)備
    - 濺射設(shè)備
    - 研究開發(fā)設(shè)備
    - 分析設(shè)備、實(shí)驗(yàn)裝置等

    • 主真空泵系統(tǒng),用于不產(chǎn)生副反應(yīng)生成物的輕工藝產(chǎn)線的真空系統(tǒng)。

    • 其他的高真空排氣系統(tǒng)。

    規(guī)格

    表格1
    模型UTM300A-MSUTM400A-MSUTM800A-MSUTM1000A-MS
    進(jìn)氣口VG100 / ICF152VG150 / ICF203VG200 / ICF253
    出線口KF25KF40
    冷卻方式水冷
    風(fēng)冷
    水冷
    風(fēng)冷
    水冷
    風(fēng)冷
    水冷
    風(fēng)冷
    極限壓力*110 -710 -8
    抽速*2氮?dú)?/span>升/秒3204208001080
    氬氣升/秒
    升/秒340360800930
    氫2升/秒320340700790
    壓縮率氮?dú)?/span>1×10 9
    8×10 4
    氫21×10 44×10 3
    最大入口壓力*32001.32001.34001.34001.3
    最大出口壓力*340040400406654066540
    旋轉(zhuǎn)速度轉(zhuǎn)速4500035000


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